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產(chǎn)品基礎(chǔ)信息

本品為高純度 PEEK 板材,固定尺寸 35×620×1250mm,采用 99.99% 高純度原生 PEEK 樹脂生產(chǎn),雜質(zhì)含量≤1ppm(金屬離子、微粒雜質(zhì)),揮發(fā)物含量≤3ppm,符合 SEMI F47 潔凈標(biāo)準(zhǔn)。

表面經(jīng)過 100 級(jí)潔凈室拋光處理,無粉塵、油污,專為半導(dǎo)體載具設(shè)計(jì),支持定制加工,適配半導(dǎo)體芯片制造的潔凈環(huán)境。

核心性能優(yōu)勢(shì)

這款高純度 PEEK 板材核心優(yōu)勢(shì)聚焦 “99.99% 高純度”“低雜質(zhì)低揮發(fā)” 與 “半導(dǎo)體適配”,解決半導(dǎo)體污染痛點(diǎn):

一是超高純度保障芯片安全,雜質(zhì)含量≤1ppm,遠(yuǎn)低于普通 PEEK 板材(約 5ppm),用于半導(dǎo)體載具(如晶圓承載盒、芯片傳輸托盤)時(shí),無金屬離子、微粒脫落污染晶圓或芯片,避免因雜質(zhì)導(dǎo)致的芯片良率下降,符合半導(dǎo)體 14nm 及以下制程的潔凈要求;

二是低揮發(fā)適配潔凈環(huán)境,揮發(fā)物含量≤3ppm,在半導(dǎo)體潔凈室高溫(200℃)加工與使用中,無有害物質(zhì)析出,不會(huì)破壞潔凈室空氣潔凈度(Class 10),同時(shí)避免揮發(fā)物附著在芯片表面影響電氣性能;

三是定制化適配半導(dǎo)體工藝,35mm 厚度可根據(jù)半導(dǎo)體載具需求定制加工(如精密開槽、異形結(jié)構(gòu)),加工精度達(dá) ±0.005mm,適配不同規(guī)格晶圓(如 8 英寸、12 英寸)承載需求,且支持潔凈室專用包裝(防靜電、防塵真空包裝),確保運(yùn)輸與存儲(chǔ)過程無污染。

適用場(chǎng)景

主要適配半導(dǎo)體載具及潔凈室場(chǎng)景,細(xì)化三大方向:(1)半導(dǎo)體晶圓載具:制作晶圓傳輸盒(FOUP)、晶圓清洗花籃,高純度低雜質(zhì)可避免污染晶圓表面,35mm 厚度提供充足結(jié)構(gòu)強(qiáng)度;

(2)芯片封裝載具:加工芯片測(cè)試托盤、封裝模具內(nèi)襯,低揮發(fā)特性適配封裝過程中的高溫環(huán)境,保障芯片封裝良率;

(3)潔凈室設(shè)備部件:制作半導(dǎo)體潔凈室的機(jī)械臂襯套、傳輸導(dǎo)軌,符合 SEMI F47 標(biāo)準(zhǔn),適配潔凈室高精度、低污染運(yùn)行需求。

采購(gòu)與服務(wù)保障

采購(gòu)保障覆蓋純度與潔凈:

(1)品質(zhì)保障,隨貨附帶純度檢測(cè)報(bào)告(ICP-MS 金屬離子檢測(cè)、微粒計(jì)數(shù)檢測(cè))、SEMI F47 認(rèn)證;

(2)定制支持,提供載具圖紙后 24 小時(shí)內(nèi)出具定制方案,定制周期 5-7 天;

(3)售后保障,收貨后提供潔凈室驗(yàn)收支持,15 天內(nèi)若檢測(cè)純度不達(dá)標(biāo),非人為因素可免費(fèi)退換,半導(dǎo)體載具加工技術(shù)疑問 24 小時(shí)工程師響應(yīng)。