1.產(chǎn)品簡(jiǎn)介描述
高純度PPS板材(12mm),專為半導(dǎo)體部件設(shè)計(jì),核心具備高純度與無(wú)金屬雜質(zhì)特性,適配半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)、封裝等潔凈環(huán)境,保障半導(dǎo)體產(chǎn)品質(zhì)量
2.產(chǎn)品基礎(chǔ)信息
本品為12mm厚度高純度PPS板材,采用電子級(jí)高純度PPS樹(shù)脂,純度≥99.95%,金屬雜質(zhì)含量(Fe/Cu/Ni/Na/K等)≤1ppm,符合SEMIF47半導(dǎo)體潔凈標(biāo)準(zhǔn)。表面粗糙度Ra≤0.1μm,無(wú)氣泡、無(wú)劃痕,耐半導(dǎo)體清洗液(HF、H?SO?)腐蝕,滿足半導(dǎo)體部件基礎(chǔ)要求
3.核心性能優(yōu)勢(shì)
核心優(yōu)勢(shì)為高純度、無(wú)金屬雜質(zhì)、潔凈度高,12mm厚度適合精密加工:
(1)潔凈保障:無(wú)金屬雜質(zhì)與微粒脫落,避免污染半導(dǎo)體晶圓,提升產(chǎn)品良率;
(2)耐化學(xué)性:耐受半導(dǎo)體生產(chǎn)中的清洗液、蝕刻劑,長(zhǎng)期使用無(wú)溶出,不影響工藝;
(3)精密適配:高純度材料加工性能好,可制成高精度部件,適配半導(dǎo)體設(shè)備精密結(jié)構(gòu)
4.適用場(chǎng)景
主要適配半導(dǎo)體部件場(chǎng)景:
(1)半導(dǎo)體晶圓載具:如晶圓存放盒、傳輸臂,高潔凈度保障晶圓表面無(wú)污染;
(2)半導(dǎo)體清洗設(shè)備部件:如清洗槽內(nèi)襯、噴淋臂,耐化學(xué)腐蝕,無(wú)雜質(zhì)溶出;
(3)半導(dǎo)體封裝設(shè)備部件:如封裝模具、定位塊,無(wú)金屬雜質(zhì)保障封裝精度與可靠性
5.采購(gòu)與服務(wù)保障
提供純度檢測(cè)報(bào)告與金屬雜質(zhì)ICP-MS分析報(bào)告;12mm規(guī)格現(xiàn)貨供應(yīng);下單后48小時(shí)內(nèi)發(fā)貨;收貨后10天內(nèi)若檢測(cè)出超標(biāo)雜質(zhì),支持全額退換
